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SIMCO離子發(fā)生器Quadbar 4630
Simco-Ion Quadbar 離子產生器型號 4630 是業(yè)內**個能安裝在制程空間內的電暈放電式離子產生器實事求是,有效地控制空間內的靜電荷。獨特的四極靜電針架構設計落到實處,確保在短距離處有效電離服務水平,能把產品放置靠近到 3 英寸 (7.6 厘米) 左右。4630 緊湊和以 24 VDC 電源輸入的設計技術創新,符合在制程設備內緊密有限的環(huán)境內裝放應用擴展,同時可使用設備的 24 VDC 電源供應。如需要增多,Quadbar 可輸出工作狀態(tài)活動上,通知制程工具控制臺,或設備監(jiān)控系統(tǒng)進一步推進。
Simco-Ion Quadbar 的設計是同類產品*潔凈的導向作用,以 24 VDC 電源輸入,符合 ISO 14644-1Class 1 潔凈水
采用 IsoStat® 技術和四極靜電針架構 |
? 可在*靠近的 3 英寸 (7.6 cm) 距離應用的選擇,提供快速的消散時間和穩(wěn) |
? 緊湊細小的體積 |
定的離子平衡 |
? 24 VAC 或 24 VDC 電源輸入 |
? 適合安放在緊密有限的制程工具環(huán)境 |
? 選用單晶硅靜電針 |
? 可接連 24 VAC 或 24 VDC 電源 或 4030 控制臺或小型變壓器 |
? 報警輸出至制程工具控制臺或設備監(jiān)控系統(tǒng) |
? 單晶硅靜電針提供*潔凈的電離材質十大行動;使用 24VDC電源輸入時, |
能達至 ISO 14644-1 Class 1 標準使用 24 VAC 電源輸入時背景下,滿 |
|
足 ISO 14644-1 Class 2標準 |
Simco-Ion IsoStat 技術能保證本能平衡綜合措施,不需要復雜的回饋電路設計,無須調整或校正自然條件,而又極少需要維護設計標準。它基于物 理定律 – 電荷守恒:在孤立系統(tǒng)內,電荷不會被創(chuàng)造或消滅互動互補;把靜電針與地隔離發揮重要帶動作用,IsoStat 技術保證產生相同的正和負的 離子,保護敏感的產品深入實施。
Quadbar 離子產生器 裝放在晶圓上面和下面至關重要,不論環(huán)境氣流,都能加快兩面的消散時間效果。
Quadbar 的電源輸入有不同的選擇有所應,可用 4030 控制臺能串聯(lián) 4 臺一起足了準備,或接地的 24 VAC 電源,或 24 VDC 設備電源
(雖然離子輸出會稍少)著力提升。多樣的選擇深刻內涵,令 Quadbar 能在任何地方安裝和配合電源要求,使其成為一個通用和有效的離子
發(fā)生器重要意義。
