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ULTRA QV
363系列-超高精CNC視像測量系統(tǒng)
日本三豐品牌 MITUTOYO ULTRA QV404 PRO 視像測量系統(tǒng)
特點:
1共享應用、采用高精度氣浮軸承線性導軌系統(tǒng),從而將直線度誤差減少到*小標準。
2示範推廣、采用分辨率為0.01mm的玻璃光柵尺,此玻璃光柵尺由位于11米處的高精密工廠制造即將展開。
3大幅增加、通過使用熱膨脹系數(shù)幾乎為零的玻璃光柵尺,將溫度變化對精度的影響減少到*低傳承。
4等特點、使用有限元方法(Finite Element Method)分析優(yōu)化主機的機械結(jié)構(gòu)。
5多種、穩(wěn)定的幾何精度(如:每個軸的直線度和垂直度)以降低熱效應影響將進一步。
性能參數(shù):
型號 |
ULTRA QV404 PRO |
|
測量范圍 |
X軸 |
400mm |
Y軸 |
400mm |
|
Z軸 |
200mm |
|
分辨率 |
0.01μm |
|
高靈敏度CCD照相機 |
黑白 |
|
精度* (20℃±0.2℃) |
E1XY |
(0.25+2L/1000)μm |
E1Z |
(1.5+2L/1000)μm [(1+2L/1000)μm:10-60mm] |
|
E2XY |
(0.25+2L/1000)μm |
|
*大驅(qū)動速度(X/Y/Z軸) |
150mm/sec |
|
照明 (PRL:可編程環(huán)形燈) |
表面 |
鹵素燈 |
輪廓 |
鹵素燈 |
|
PRL |
鹵素燈 |
|
放大倍率變化系統(tǒng) |
可編程電動轉(zhuǎn)盤 |
|
工作臺玻璃尺寸 |
493×551mm |
|
臺面*大承重 |
40kg |
|
尺寸(W×D×H)** |
1200×1735×1910mm |
|
重量** |
2150kg |
*測量精度在以下條件下定義, 可編程電動轉(zhuǎn)盤:1X 物鏡設(shè)置:5X ,L為任意兩點間尺寸(mm)
**包括機械臺架