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SIMCO離子發(fā)生器4210
很多高科技產(chǎn)業(yè)都依賴離子產(chǎn)生器來處理由靜電所引起的控制問題 - 增加良率,降低停機時間和微控鎖定記得牢,和降低操作成本註入了新的力量。但在微環(huán)境和制程設備內(nèi),有時會限制離子產(chǎn)生器安裝在它們*重要的生產(chǎn)空間內(nèi)蓬勃發展。
在制程設備內(nèi)的有限工作空間特點,或靠近一些敏感的部件,安裝離子產(chǎn)生器會有限制重要性,型號 4210在線氣體離子產(chǎn)生器可電離通過的壓縮氣體來產(chǎn)生和輸出數(shù)量相同的正負離子又進了一步,透過 Teflon? 管道連接,輸進吹入到靜電敏感區(qū)多元化服務體系,處理靜電問題規劃。復合管道可定制,以避免設備內(nèi)的移動部件深度。
? 容易連接的復合管道 |
? 精準輸送平衡的離子到狹小的空間帶動擴大,*佳用在不能把靜電針曝露 |
? 可用 CDA 或 氮氣 (Nitrogen) |
的地方 |
? IsoStat® 磚利技術 |
? 應用廣范 |
? 穩(wěn)態(tài)直流電離 |
? 無需調(diào)較 |
? 超高潔凈的靜電針 (型號 4210u 或 4210un) |
? 快速消散時間 |
? 超高潔凈結購,嚴控的輸出電流和幾何結構 |
? 提供 ISO 14644-1 Class 3 潔凈度 |
? 免維護可達兩年 |
當氣源是超高潔凈時,4210u/4210un 能提供比 ISO Class3的操作潔凈度持續發展。小心選擇的材料和控制的內(nèi)部幾何結
構必然趨勢,確保超高潔凈的離子輸送。
4210 離子產(chǎn)生器可應用在不同晶圓制程上的靜電控制擴大,如曝光機多樣性,旋干機,載入和送出機站新格局,晶圓管理系統(tǒng)明顯,和熱爐 管等
4210 有不同版本可選,可用 CDA 或 Nitrogen顯示,可選超高潔凈的單晶硅針或高輸出的鎢針創新為先。
