- DEWALT得偉電動(dòng)工具
- 德國(guó)Isabellenhuet...
- 樂(lè)泰膠水
- 日本IEI巖下點(diǎn)膠設(shè)備
- 日本橫河儀器儀表
- 亞德客AirTAC氣動(dòng)器材
- 瑞士Sulzer Mixpac...
- 日本SMC氣動(dòng)產(chǎn)品
- 日本三英SAN-EI TECH...
- YWF系列外轉(zhuǎn)子軸流風(fēng)機(jī)
- 日本HAKKO八光電熱器件
- AMANO安滿能
- 瑞士IDEAL TEK鑷子
- 日本馬牌KEIBA鉗子
- 日本HIKOKI高壹工機(jī)電動(dòng)工...
- 日本HAKKO白光焊接工具
- 美國(guó)FLUKE福祿克儀器儀表
- 日本MUSASHI武藏點(diǎn)膠設(shè)備
- 定位片
- 電子墨水屏
- 測(cè)溫儀進一步提升、防護(hù)口罩用品系列
- 膠帶
- 日常用品
- 日本3.Peaks三山手工具
- 德國(guó)STEINEL司登利熱風(fēng)槍
- 日本TECLOCK得樂(lè)測(cè)量工具
- 日本KANON中村扭力扳手
- 鑫東邦膠水
- 日本VESSEL威威手動(dòng)工具
- 日本PEACOCK孔雀儀表
- 鎢鋼銑刀
- CEMEDINE施敏打硬
- 日本CKD喜開(kāi)**動(dòng)產(chǎn)品
- 日本SHINWA親和測(cè)量工具
- 日本TOHNICHI 東日扭力...
- 日本MITUTOYO三豐測(cè)量工...
- 日本協(xié)力化學(xué)Kyoritsu產(chǎn)...
- 美國(guó)METCAL焊接工具
- 中山TRUSCO工具
- 日本MITSUBISHI三菱全...
- 美國(guó)STANLEY史丹利工具
- 日本MERRY快力電熱剪
- 日本FUJITOOL富士工具
- 日本URYU瓜生氣動(dòng)工具
- 日本HIOS好握速電動(dòng)工具
- 日本EIGHT百利內(nèi)六角扳手
- 威克牌磁盤
- 日本FSK生產(chǎn)砂輪
- 日本IMADA依夢(mèng)達(dá)推拉力計(jì)
- 日本BANDO阪東皮帶
- 日本YOKOTA橫田氣動(dòng)產(chǎn)品
- 日本NITTO KOHKI日東...
- 美國(guó)OMEGA熱電偶
- 日本OMRON歐姆龍氣動(dòng)產(chǎn)品
- 日本KONICAMINOLTA...
- PEAK日本必佳
- 日本DELVO達(dá)威電動(dòng)工具
- 日本KANETEC強(qiáng)力測(cè)量工具
- 日本HOZAN寶山手動(dòng)工具
- 日本NILE利萊氣動(dòng)工具
- 日本SIMCO思美高離子風(fēng)機(jī)
- 日本THK
SIMCO離子風(fēng)棒5635M Bar
Simco-Ion Aerobar 5635 MP 離子棒能提供快速靜電消散競爭力，低殘余電壓擺幅調整推進，和精準(zhǔn)的離子平衡，是設(shè)計(jì)用于有嚴(yán)格要求的超高潔凈半導(dǎo)體或有同類的制程環(huán)境機製性梗阻。它采用 MP 技術(shù) - 把高頻正旋周波和調(diào)制脈沖結(jié)合 - 產(chǎn)生高輸出量的離子和把它們推送至目標(biāo)表面機製，這突破的技術(shù)使 5635MP 離子棒能安裝在晶圓的 15 cm 距離內(nèi)。同時(shí)配合超高潔凈的靜電針和**的參數(shù)調(diào)整集成應用，使它達(dá)到超越 ISO Class 1 潔凈水平的
“Extended ISO Class 1”潔凈度探討，適合更微小的先進(jìn)技術(shù)制程。選配的吹氣輔助功能高效流通，在潔凈要求不高的環(huán)境調解製度，能加快離子的推送，得到更快的消散時(shí)間和有更遠(yuǎn)的工作距離功能。
Aerobar 5635 MP 離子棒的 MP 技術(shù)能容易設(shè)置和微調(diào)參數(shù) - 輸出電壓創新內容，脈沖頻率，正負(fù)平衡廣泛關註，以符合不同環(huán)境和產(chǎn)品對(duì)靜電的敏感要求善於監督。在棒長(zhǎng)短于 60 cm 時(shí)，靜電針的間距是 5 cm就能壓製，這樣能給出更濃密和更平均的離子覆蓋更合理。
|
ISO 14644-12 (0.01 mm 微粒) 潔凈度 |
? 可兼容包括 14 nm 和以下的所有晶圓技術(shù) |
|
? 調(diào)制脈沖技術(shù) |
? 精準(zhǔn)的正負(fù)平衡，高離子輸出量更優美，和長(zhǎng)期穩(wěn)定 |
|
? **的橫向均勻度 |
? 整根棒的離子平衡都一致 |
|
? 低電場(chǎng)電壓 |
? 可**靠近晶圓或光罩各方面，放置距離可近至 15 cm |
|
? 吹氣輔助功能 |
? 在快速的自動(dòng)設(shè)備，能增強(qiáng)消除靜電的能力 |
|
? 選配的軟件有易用的介面和寬闊的可調(diào)性 |
? 在任何環(huán)境都能快速設(shè)定和容易調(diào)至*佳效能 |
|
? 警報(bào)輸出信號(hào) |
? 能輸出至設(shè)備或遠(yuǎn)端監(jiān)控系統(tǒng) |
型號(hào) 5635 MP 離子棒的設(shè)計(jì)是使用在 ISO 14644-1 Class1 潔凈度的環(huán)境 (每立方米少過(guò) 10 粒 @ ≥0.1 micron 的微粒）優勢。如把輸出功率設(shè)在 45-50% 和使用 OpenJet 風(fēng)嘴和單晶硅靜電針善謀新篇，它可兼容 ISO 14644-12 潔凈度 (每立方米少過(guò)1200 粒 @ ≥0.01 micron 的微粒)。
型號(hào) 5601 電源分配盒可作為中央電源和軟件控制便利性，能連接 8 根 5635 MP 離子棒方法。
Aerobar 5635 MP 離子棒只要連上 24 VDC 電源即可工作，如需要也可接入氣源作吹氣輔助提供有力支撐。DIP 開(kāi)關(guān)可設(shè)定功率輸出切實把製度，可根據(jù)說(shuō)明書(shū)的建議，設(shè)定需要的消散效能自行開發。然后在棒上微調(diào)操作參數(shù)進行部署，或透過(guò)連接的電腦軟件調(diào)節(jié)，以達(dá)到*佳的離子平衡應用情況，*小的電壓擺幅保護好，和*快的消散時(shí)間組建。在信號(hào)和電源的接線盒上的警報(bào)連接能輸出至設(shè)備或中央控制室作遠(yuǎn)端設(shè)備監(jiān)控。
